Micro Systeem Technologie

Mikrocentrum

Cursussen

 

Microsystemen zullen ons leven en welzijn de komende jaren steeds meer beïnvloeden; ze kunnen er voor zorgen dat verschillende technologieën worden geïntegreerd tot kleine autonome systemen en netwerken met verschillende functies zoals sensing, verwerking van data en draadloze communicatie.

Verschillende marktonderzoeken geven aan dat toepassing van Microsysteemtechnologie in producten er toe zal leiden dat er in de komende jaren een grote bedrijvigheid rondom Microsysteemtechnologie zal ontstaan. Met wereldwijd een totale omvang vergelijkbaar met de huidige halfgeleider industrie.

De cursus Introductie Micro Systeem Technologie geeft een overzicht van de basis technologie die gebruikt wordt om microsystemen gebaseerd op Silicium te realiseren. In de cursus wordt de werking en de opbouw van een aantal specifieke MST producten behandeld.

Doel
De cursist heeft na afloop inzicht in de achtergrond van microsysteemtechnologie, kent de belangrijkste bewerkingsprocessen en kent eigenschapen van de meest toegepaste materialen. Daarnaast kent de cursist de werlkingsprinciopes van een aantal typische micro systeem producten.

Bestemd voor
Ingenieurs die in hun praktijk toepassing van micro systeem technologie aan zien komen of mogelijke toepassingen van microsysteemtechnologie willen verkennen.

Werk- en denkniveau
HBO-niveau en academisch

Duur
2 dagbijeenkomsten van 9.00 tot 16.30 uur, 1x per week.

Inhoud
Marktontwikkeling:
- Typische MST producten (airbagsensor, inktjetkop en druksensor)
- Miniaturisatie
- Marktprognoses

Materialen voor micro systemen:
- Belangrijke materiaaleigenschappen
- Silicium
- Bewerking van silicium
- Glas
- Polymeren
- Metaal lagen

Bewerkings processen:
- Epitaxiaal groeien
- Chemical Vapour Deposition (CVD)
- Etsen
- Anodisch bonden
- LIGA

Sensoren en actuatoren:
- Toegepaste sensor principes
- Toegepaste actuator principes
- Piezoresisitieve druksensoren
- Capacitieve druksensoren
- Accelerometers
- Mass flow sensoren
- Micro kleppen
- Inkjet koppen
- Digitale Micro Mirror Devices

MST Producten
- PCR analyse
- Microtitreerplaatjes
- Lab-on-a-Chip / micro Totaal Anayse Systemen
- Micro Gaschromatograaf

Packaging/beschermen
- Algemene packaging prinicipes
- Wirebonding
- Flip chip technologie
- Keramische packages
- Plastic packages

Bewijs van deelname
Na afloop ontvangt de cursist een bewijs van deelname.

Lesmateriaal
Een syllabus met een boek (engelstalig)

 

plan mijn route:

route:
Adres: